真空系列

真空应用的光电扫描增量式光栅尺

满足真空度达10 E-9 mBar气压的真空应用要求，个性化的测量长度等多种功能

直线光栅尺

增量式增量式

真空版真空版

LIK 21 vac

LIK系列光栅尺特别适用于安装空间有限的应用。自带2场EPIFLEX读数模块，也适用于恶劣的应用环境。

  • 真空版LIK 21，外壳版本1
  • 带EPIFLEX读数模块（2场扫描）
  • 光栅尺部件满足真空度达10 E-9 mbar（UHV）的气压要求
  • 支持150 °C时12小时的加热周期
  • 1 Vpp或RS 422输出信号
  • 多达100倍的细分信号
  • 最小测量步距仅50 nm
  • 运动速度达10 m/s（1 Vpp）

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LIK 22 vac

LIK系列光栅尺特别适用于安装空间有限的应用。自带2场EPIFLEX读数模块，也适用于恶劣的应用环境。

  • 真空版LIK 22，外壳版本2
  • 带EPIFLEX读数模块（2场扫描）
  • 光栅尺部件满足真空度达10 E-9 mbar（UHV）的气压要求
  • 支持150 °C时12小时的加热周期
  • 1 Vpp或RS 422输出信号
  • 多达100倍的细分信号
  • 最小测量步距仅50 nm
  • 运动速度达10 m/s（1 Vpp）

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LIK 23 vac

LIK系列光栅尺特别适用于安装空间有限的应用。自带2场EPIFLEX读数模块，也适用于恶劣的应用环境。

  • 真空版LIK 23，外壳版本3
  • 带EPIFLEX读数模块（2场扫描）
  • 光栅尺部件满足真空度达10 E-9 mbar（UHV）的气压要求
  • 支持150 °C时12小时的加热周期
  • 1 Vpp或RS 422输出信号
  • 多达100倍的细分信号
  • 最小测量步距仅50 nm
  • 运动速度达10 m/s（1 Vpp）

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LIK 41 vac

LIK系列光栅尺特别适用于安装空间有限的应用。LIK 41是该系列的最小产品，特别配单场读数头，最大限度减小外壳尺寸。

  • 特殊真空版的LIK 41带EPIFLEX读数模块（单场扫描）
  • 光栅尺部件满足真空度达10 E-9 mbar（UHV）的气压要求
  • 支持150 °C时12小时的加热周期
  • 超小型尺寸
  • 个性化的配置
  • 1 Vpp或RS 422输出信号
  • 多达100倍的细分信号
  • 最小测量步距仅50 nm
  • 运动速度达10 m/s（1 Vpp）

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Kit L2 vac

Kit L系列直线光栅尺特别设计用于个性化的应用。该系列产品不仅拥有极小的尺寸，更提供配置能力。该系列产品几乎不限制设计师的设计自由。

  • 特殊真空版的Kit L2带EPIFLEX读数模块（2场扫描）
  • 带EPIFLEX读数模块（2场扫描）
  • 光栅尺部件满足真空度达10 E-6 mbar（UHV）的气压要求
  • 1 Vpp或RS 422输出信号
  • 多达100倍的细分信号
  • 最小测量步距仅50 nm
  • 运动速度达10 m/s（1 Vpp）

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Kit L4 vac

Kit L系列直线光栅尺特别设计用于个性化的应用。该系列产品不仅拥有极小的尺寸，更提供配置能力。该系列产品几乎不限制设计师的设计自由。

  • 特殊真空版的Kit L4带EPIFLEX读数模块（1场扫描）
  • 带EPIFLEX读数模块（2场扫描）
  • 光栅尺部件满足真空度达10 E-6 mbar（UHV）的气压要求
  • 1 Vpp或RS 422输出信号
  • 多达100倍的细分信号
  • 最小测量步距仅50 nm
  • 运动速度达10 m/s（1 Vpp）

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光栅尺带

不锈钢

SINGLEFLEX

SINGLEFLEX光栅尺带由一条不锈钢增量式光栅尺带和一个或多个参考点或PRC码组成。光栅尺带配双面胶带，可被轻松安装在机床部件上。

玻璃

玻璃光栅尺

为满足特殊应用环境条件要求（例如磁场、热辐射、真空等）或特殊的尺寸要求，我们也提供玻璃光栅尺。