Lineare Messung
Inkremental
Unsere offenen Längenmesssysteme bestehen aus einem Messkopf und einer Maßverkörperung. Diese Messsysteme zeichnen sich im Wesentlichen durch folgende Hauptmerkmale aus:
- Führung zwischen Messkopf und Maßstab wird durch das Schlittensystem des Anwenders übernommen
- berührungslose optische Abtastung des Maßstabes durch den Messkopf, dadurch keine mechanische Rückwirkung auf das Schlittensystem
- geringer Platzbedarf aufgrund geringer Abmaße des Messsystems
- Maßbänder in individuellen Messlängen bestellbar
- hohe Verfahrgeschwindigkeiten bis zu 10 m/s
- im Messkopf oder Steckverbinder integrierte Signalinterpolation bis 100-fach
- hohe Auflösung (Messschritte bis zu 50 nm)
- hohe Maßbandgenauigkeit (Genauigkeitsklassen bis +/- 1 µm)
- durch Onlinekompensation (dynamische Offset- und Amplitudenregelung) hohe Interpolationsgenauigkeit und geringe Verschmutzungsempfindlichkeit
- hohe Anbautoleranzen
- Referenzsignale mit inkrementgenauer Wiederholgenauigkeit unabhängig von der Anfahrrichtung der Referenzmarken
- definiertes thermisches Verhalten mit Hilfe unserer DOUBLEFLEX-Maßbänder
- Möglichkeit des elektronischen Signalabgleichs nach dem Anbau (ADJUSTMENT TOOL)
Typische Einsatzgebiete:
- Fertigungs- und Inspektionsmaschinen für die Halbleiterindustrie
- Präzisionsbearbeitungsmaschinen
- Lineareinheiten, Linearantriebe sowie Koordinatentische
- Messmaschinen und Messmikroskope
- Positionier- und Messeinrichtungen in der Medizintechnik
- Roboter