Vakuum Serie

Optische Inkrementalmesssysteme für Vakuumanwendungen

für Vakuumanwendungen bis zu 10 E-9 mBar Atmosphärendruck geeignet, Individuelle Messlängen sowie viele weitere Features

Lineare Messung

InkrementalInkremental

VakuumVakuum

LIK 21 vac

Die LIK Baureihe wurde speziell für Anwendungen mit begrenzten Bauräumen entwickelt. Mit seinem integrierten 2-Feld EPIFLEX Sensormodul ist es zudem auch für einen robusten Einsatz gerüstet.

  • Spezielle Vakuumversion vom LIK 21 mit Gehäusevariante 1
  • Standardsystem mit EPIFLEX Sensormodul (2-Feldabtastung)
  • Komponenten vakuumtauglich bis zu 10 E-9 mbar (UHV) Atmosphärendruck
  • Ausheizzyklen von 12 h bei 150 °C möglich
  • 1 Vss oder RS 422 Ausgangssignal
  • bis zu 100-fach Signalinterpolation
  • kleinster Messschritt bei 50 nm
  • Verfahrgeschwindigkeiten bis zu 10 m/s (bei 1 Vss)

Bedienungsanleitung   CAD - Daten

LIK 22 vac

Die LIK Baureihe wurde speziell für Anwendungen mit begrenzten Bauräumen entwickelt. Mit seinem integrierten 2-Feld EPIFLEX Sensormodul ist es zudem auch für einen robusten Einsatz gerüstet.

  • Spezielle Vakuumversion vom LIK 22 mit Gehäusevariante 2
  • Standardsystem mit EPIFLEX Sensormodul (2-Feldabtastung)
  • Komponenten vakuumtauglich bis zu 10 E-9 mbar (UHV) Atmosphärendruck
  • Ausheizzyklen von 12 h bei 150 °C möglich
  • 1 Vss oder RS 422 Ausgangssignal
  • bis zu 100-fach Signalinterpolation
  • kleinster Messschritt bei 50 nm
  • Verfahrgeschwindigkeiten bis zu 10 m/s (bei 1 Vss)

Bedienungsanleitung   CAD - Daten

LIK 23 vac

Die LIK Baureihe wurde speziell für Anwendungen mit begrenzten Bauräumen entwickelt. Mit seinem integrierten 2-Feld EPIFLEX Sensormodul ist es zudem auch für einen robusten Einsatz gerüstet.

  • Spezielle Vakuumversion vom LIK 23 mit Gehäusevariante 3
  • Standardsystem mit EPIFLEX Sensormodul (2-Feldabtastung)
  • Komponenten vakuumtauglich bis zu 10 E-9 mbar (UHV) Atmosphärendruck
  • Ausheizzyklen von 12 h bei 150 °C möglich
  • 1 Vss oder RS 422 Ausgangssignal
  • bis zu 100-fach Signalinterpolation
  • kleinster Messschritt bei 50 nm
  • Verfahrgeschwindigkeiten bis zu 10 m/s (bei 1 Vss)

Bedienungsanleitung   CAD - Daten

LIK 41 vac

Die LIK Baureihe wurde speziell für Anwendungen mit begrenzten Bauräumen entwickelt. Das LIK 41 ist die kleinste Variante dieser Baureihe und wurde speziell mit einem 1-Feldsensor ausgestattet um die Gehäusegröße weiter zu minimieren.

  • Spezielle Vakuumversion vom LIK 41 mit EPIFLEX Sensormodul (1-Feldabtastung)
  • Komponenten vakuumtauglich bis zu 10 E-9 mbar (UHV) Atmosphärendruck
  • Ausheizzyklen von 12 h bei 150 °C möglich
  • besonders kleine Abmaße
  • individuell konfigurierbar
  • 1 Vss oder RS 422 Ausgangssignal
  • bis zu 100-fach Signalinterpolation
  • kleinster Messschritt bei 50 nm
  • Verfahrgeschwindigkeiten bis zu 10 m/s (bei 1 Vss)

Bedienungsanleitung   CAD - Daten

Kit L2 vac

Die Kit L Baureihe wurde speziell für Anwendungen mit besonderen, kundenspezifischen Anforderungen entwickelt. Diese Systeme sind nicht nur extrem klein sondern auch im besonderen Maße individuell konfigurierbar. Ihren Ideen werden mit dieser Baureihe kaum noch Grenzen gesetzt.

  • Spezielle Vakuumversion vom Kit L2 mit EPIFLEX Sensormodul (2-Feldabtastung)
  • Komponenten vakuumtauglich bis zu 10 E-6 mbar (UHV) Atmosphärendruck
  • Ausheizzyklen von 12 h bei 150 °C möglich
  • 1 Vss oder RS 422 Ausgangssignal
  • bis zu 100-fach Signalinterpolation
  • kleinster Messschritt bei 50 nm
  • Verfahrgeschwindigkeiten bis zu 10 m/s (bei 1 Vss)

Bedienungsanleitung   CAD - Daten

Kit L4 vac

Die Kit L Baureihe wurde speziell für Anwendungen mit besonderen, kundenspezifischen Anforderungen entwickelt. Diese Systeme sind nicht nur extrem klein sondern auch im besonderen Maße individuell konfigurierbar. Ihren Ideen werden mit dieser Baureihe kaum noch Grenzen gesetzt.

  • Spezielle Vakuumversion vom Kit L4 mit EPIFLEX Sensormodul (1-Feldabtastung)
  • Komponenten vakuumtauglich bis zu 10 E-6 mbar (UHV) Atmosphärendruck
  • Ausheizzyklen von 12 h bei 150 °C möglich
  • 1 Vss oder RS 422 Ausgangssignal
  • bis zu 100-fach Signalinterpolation
  • kleinster Messschritt bei 50 nm
  • Verfahrgeschwindigkeiten bis zu 10 m/s (bei 1 Vss)

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Maßverkörperung

Edelstahl

SINGLEFLEX

Bei der SINGLEFLEX-Maßverkörperung handelt es sich um ein einzelnes Edelstahlband auf dem die Inkremente sowie eine oder mehrere Referenzmarken oder ein PRC Code aufgebracht sind. Dieses Band wird mit einem doppelseitigen Klebeband versehen und kann einfach auf das Maschinenbett aufgeklebt werden.

 

 

Glas

Maßstäbe aus Glas

Für Anwendungen mit besonderen Umgebungsbedingungen (z.B. Magnetfelder, Wärmequellen, Vakuum, etc.) oder bei speziellen Anforderungen zu den Abmessungen, bieten wir Ihnen auch Maßverkörperungen aus Glas an.