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Optische Inkrementalmesssysteme

Individuelle Messlängen, Interpolierte Ausgangssignale, kundenspezifische Auführungen und viele weitere Features

Lineare Messung

InkrementalInkremental

Unsere offenen Längenmesssysteme bestehen aus einem Messkopf und einer Maßverkörperung. Diese Messsysteme zeichnen sich im Wesentlichen durch folgende Hauptmerkmale aus:

  • Führung zwischen Messkopf und Maßstab wird durch das Schlittensystem des Anwenders übernommen
  • berührungslose optische Abtastung des Maßstabes durch den Messkopf, dadurch keine mechanische Rückwirkung auf das Schlittensystem
  • geringer Platzbedarf aufgrund geringer Abmaße des Messsystems
  • Maßbänder in individuellen Messlängen bestellbar
  • hohe Verfahrgeschwindigkeiten bis zu 10 m/s
  • im Messkopf oder Steckverbinder integrierte Signalinterpolation bis 100-fach
  • hohe Auflösung (Messschritte bis zu 50 nm)
  • hohe Maßbandgenauigkeit (Genauigkeitsklassen bis +/- 1 µm)
  • durch Onlinekompensation (dynamische Offset- und Amplitudenregelung) hohe Interpolationsgenauigkeit und geringe Verschmutzungsempfindlichkeit
  • hohe Anbautoleranzen
  • Referenzsignale mit inkrementgenauer Wiederholgenauigkeit unabhängig von der Anfahrrichtung der Referenzmarken
  • definiertes thermisches Verhalten mit Hilfe unserer DOUBLEFLEX-Maßbänder
  • Möglichkeit des elektronischen Signalabgleichs nach dem Anbau (ADJUSTMENT TOOL)

Typische Einsatzgebiete:

  • Fertigungs- und Inspektionsmaschinen für die Halbleiterindustrie
  • Präzisionsbearbeitungsmaschinen
  • Lineareinheiten, Linearantriebe sowie Koordinatentische
  • Messmaschinen und Messmikroskope
  • Positionier- und Messeinrichtungen in der Medizintechnik
  • Roboter